设备名称：高分辨率X射线显微镜

型号：Xradia 520 Versa

厂商：Carl Zeiss

安置地点：理学楼C座102

指标参数：

1.射线管电压: 30 kV-160 kV; X射线功率: 1W-10W

2.物镜 0.4x, 4x, 20x, 40x

3.三维空间分辨率300nm — 65μm

4.视场范围300μm — 65mm

5.四轴样品台 X,Y,Z,Theta

6.样品最大尺寸300 mm, 最大重量25 kg