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| 仪器名称 | 起约时间(分钟) | 预约费用 (元/预约时段) |
仪器状态 | 详细信息 |
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| 溅射镀膜仪 | 1h | 院内50元/小时；校内80元/小时；校外100元/小时 | 开放 | 详细信息 |
| 智能型氦液化器 | 院内50元/L;校内100元/L;校外200元/L | 开放 | 详细信息 | |
| 台阶仪 | 1h | 院内200元/小时（20元/样品）；校内150元/小时（30元/样品）；校外300元/小时（60元/样品） | 开放 | 详细信息 |
| 匀胶显影机及热板 | 1h | 院内免费；校内50元/小时；校外100元/小时。该设备单独使用时按本标准收费，与电子束曝光、紫外曝光等同时使用时免费。 | 开放 | 详细信息 |
| 近场光学扫描显微镜 | 1h | 院内150元/小时；校内300元/小时；校外500元/小时 | 开放 | 详细信息 |
| 微波等离子体去胶机 | 1h | 院内50元/小时；校内80元/小时；校外100元/小时 | 开放 | 详细信息 |
| 低温近场共聚焦及强磁场源 | 1h | 校内800元/小时，校外1500元/小时，院内600元/小时 | 开放 | 详细信息 |
| 飞秒激光系统 | 1h | 院内200元/小时；校内400元/小时；校外800元/小时； | 开放 | 详细信息 |
| 共焦显微光谱探测系统 | 1h | 院内100元/小时；校内120元/小时；校外150元/小时 | 开放 | 详细信息 |
| 快速退火炉 | 1h | 校内50元/小时，校外100元/小时，院内30元/小时 | 开放 | 详细信息 |
| 光谱型椭偏仪 | 1h | 院内100元/小时（20元/样次）；校内150元/小时（30元/样次）；校外200元/小时（40元/样次） | 开放 | 详细信息 |
| 电子束蒸发镀膜机 | 1h | 院内200元/小时；校内400元/小时；校外800元/小时 | 开放 | 详细信息 |
| 反应离子束刻蚀(RIE) | 1h | 院内250元/小时；校内400元/小时；校外500元/小时 | 开放 | 详细信息 |
| 离子体增强化学气相沉积(PECVD) | 1h | 院内250元/小时；校内400元/小时；校外500元/小时 | 开放 | 详细信息 |
| 纳米压印系统 | 1h | 校内200元/小时，校外400元/小时，院内100元/小时 | 开放 | 详细信息 |
| 电子束刻蚀系统 | 1h | 能谱仪：院内250元/小时，校内350元/小时，校外450元/小时；电子束曝光院内300元/小时，校内500元/小时，校外600元/小时；扫描电镜院内200元/小时，校内300元/小时，校外400元/小时 | 开放 | 详细信息 |
| 紫外曝光机 | 1h | 院内300元/小时；校内450元小时；校外6000元小时 | 开放 | 详细信息 |