型号：Bruker Dektak XT

1、探针传感器：低惯性量传感器 （LIS 3）；

2、低作用力：  1~15mg；   

3、探针曲率半径： 2um； 高径比针尖（HAR）10um×2um ；

4、样品 X/Y 载物台：  手动 X/Y（4英寸）

5、样品 R/Ɵ 载物台：  手动 ；

6、扫描长度范围：55mm （~2英寸）；

7、单次扫描数据采集点：最大120，000；

8、最大样品厚度50mm (2英寸) ；

9、台阶高度重复性：  <5Å, 1 sigma on 0.1μm step；

10、垂直方向扫描范围： 1mm (0.039英寸) ；

11、垂直方向分辨率：  最高分辨率可达 1Å  (在6.55um测量范围内)

       探针根据设定的扫描长度、速度与接触力在样品表面移动，随着样品表面起伏而上下变化，表征样品表面的起伏变化。主要用于测量台阶高度、样品表面粗糙度等；在太阳能领域，Dektak XT作为测量单晶硅、对晶硅电池上主栅、银线特征尺寸的首选设备，可精确测量栅线的高度、宽度；为微机电系统（MEMS）研究提供了可靠的关键尺寸测量手段，确保器件满足要求。