厂家：德国Karl Suss
技术指标:
 压印精度：30nm 
 重复性：±10nm（pitch）
                 ±15nm（depth） 
                      晶圆尺寸：2”, 4’’
                      最大模具尺寸：6’’
                      脱模方式：真空顺序脱模

主要功能及应用范围：  采用气体软压技术，压印均一性与一致性良好。典型使用领域：光子晶体、亚波长光学器件、OLED、生物微沟道、有机薄膜晶体管、渐变折射率层等。