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光谱型椭偏仪

发布日期: 2015-06-09

 

型号: Smart SE

厂家:HORIBA Jobin Yvon
产地:法国

技术指标:
 光谱范围:450-1000nm
· 多种微光斑自动选择,精度〈1nm
· 专利光斑可视技术,可观测任何样品表面
· CCD探测器
· 自动样品台尺寸:200mmX200mm;XYZ方向
· 自动调节; Z轴高度>35mm

主要功能及应用范围:测试各种透明薄膜膜厚。


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