北京理工大学微纳加工中心（原微纳技术中心）成立于2010年9月，挂靠科学技术研究院，2012年起改为挂靠物理学院。2019年12月，为进一步深化综合改革，提升公共实验平台的专业化支撑服务能力，学校将微纳技术中心并入分析测试中心，并以此为基础，通过整合资源和完善机制，成立了微纳加工中心。

 中心位于良乡校区理学楼C栋一层和二层，目前共有办公和实验面积约860平方米，其中实验区拥有总面积约460平方米的超净实验室，具备局部百级、总体千级的恒温恒湿超净环境。中心以深化资源配置改革为重点，以满足多学科和前沿交叉科学领域研究需求为目标，搭建了涵盖制备、加工、表征、测试环节的条件保障体系，具备清洗、光刻、扩散、镀膜、刻蚀、封装和检测等微纳加工领域全流程技术支撑能力，可以满足各种微纳器件的加工制作与测试表征需求。

 截至2020年底，中心拥有电子束刻蚀系统、紫外曝光光刻机、纳米压印设备、电子束蒸发镀膜机、反应离子束刻蚀系统、X-射线显微分析仪、扫描电子显微镜、显微共聚焦光谱测试系统、低温强磁场光学近场显微系统、飞秒激光器等20余台套先进的微纳加工和测试表征仪器设备，资产总值2000余万元。